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作者：本站 來源：本站 日期：2018-10-15 16:47:49 人氣：89
什么是真空鍍膜？真空鍍膜是指在真空中加熱鍍膜材料使其蒸發(fā)（氣化）、附著在基板表面形成薄膜的方法。由于真空排除了不純物、能夠形成致密的薄膜?！?/p>
蒸發(fā)方式成膜是一種可靠的和適應(yīng)性很強(qiáng)方法。該方法可以使用多樣的金屬半導(dǎo)體和電介質(zhì)成膜材料。
利用熱蒸發(fā)或者電子束蒸發(fā)源、可以得到高的鍍膜速率和優(yōu)質(zhì)的膜厚分布。
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